型号Model Number

VGSFL020NH

VGSFL025NH

VGSFL030NH

VGSFL040NH

VGSFL050NH

A

20

25

30

40

50

B

255

288

321

357

406

C

135

138

141

157

166

D

85

95

105

125

140

E

6WX3.5DpX50Lg

8WX4DpX63Lg

10WX5DpX80Lg

12WX5DpX90Lg

14WX5.5DpX110Lg

F

60

75

90

100

120

J

145

158

158

185

208

K

18

18

20

22

24

N

PD120/6-φ12

PD135/6-φ12

PD135/6-φ12

PD160/8-φ12

PD185/8-φ12

允许传送扭矩

Torque capacity[kg.cm]

585

1013

1621

3242

5801

耐真空度
Degree of vacuum pressure [Pa]

10^{- 6}

允许氦泄漏量

Leakage rate(He) [Pa.m³/sec]

<10^{- 12}

使用温度范围

Temperature range (℃)

0～80

(超出该范围可采用水 冷结构)

(Adding water cooling structure if it is beyond this temperature range.)