型号
Model Number

VGSFL006NN

VGSFL006NN

VGSFL010WN

VGSFL010WN

VGSFL012NN

VGSFL012NN

VGSFL019NN

VGSFL019WH

A

0.25

0.25

0.375

0.375

0.500

0.500

0.750

0.750

B

0.30dX0.40L
（flat）

0.30dX0.40L
（flat）

0.30dX0.40L
（flat）

0.30dX0.40L
（flat）

0.126w x 0.77d x 1.0L

0.126w x 0.77d x 1.0L

0.188w x 0.114d x 1.0L

0.188w x 0.114d x 1.0L

C

0.75

0.75

0.75

0.75

1.25

2.5

1.218

2.67

D

4.06

3.25

4.56

4.50

6.03

8.656

6.03

9.396

E

2.56

1.75

3.06

3.00

3.56

4.906

3.562

4.88

F

1.50

0.75

1.50

1.50

2.87

2.375

2.87

3.00

G

2.73

1.33

2.73

2.73

6.00

2.73

6.00

5.00

H

0.50

0.28

0.50

0.50

0.38

0.50

0.38

0.56

K

0.265，6x on 2.312 bc

0.172，6x on 1.062 bc

0.265，6x on 2.312 bc

0.265，6x on 2.312 bc

0.750，4x on 4.750 bc

0.265，6x on 2.312 bc

0.750，4x on 4.750 bc

0.406，6x on 4.000 bc

允许传递扭矩 Torque capacity[Ib-in]]

15

15

67

67

180

180

670

207

耐真空度 Degree ofvacuum pressure Pa）

10^-6

允许氦泄漏量 Leakage rate(He) [Pa·m³/sec]

<10^-12

使用温度范围 Temperature range[℃]

0～80
(超出该范围可采用水冷结构)
(Adding water cooling structure if is beyond this temperature range)

使用气体 Use ofgas

非活性气体 Non-reactive gases