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  此类单晶炉用磁流体密封传动装置外形相对大,加工难度大,精度要求高,运转平稳,采用了配对推力轴承,可以承受500kg左右轴向推力,将可以增加投料量的重量,可以生产12″硅单晶。而且坩埚磁流体密封跟籽晶磁流体密封真空侧没有轴承,可以保证真空腔内的真空度和洁净度。